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氮化硼的制备—化学气相合成法

文章出处:    责任编辑:    发布时间:2020-05-29 11:36:16    点击数:12   【
[导读]:氮化硼可以通过多种制备技术合成,这里我们来介绍一下化学气相合成法,1979年Sokolowski成功利用脉冲等离子体技术在低温低压下制备成立方氮化硼(CBN)膜。所用设备简单,工艺易于实现,因此得到迅速发展。已出现多种气相沉积方法。

氮化硼可以通过多种制备技术合成,这里我们来介绍一下化学气相合成法,1979年Sokolowski成功利用脉冲等离子体技术在低温低压下制备成立方氮化硼(CBN)膜。所用设备简单,工艺易于实现,因此得到迅速发展。已出现多种气相沉积方法。

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传统来讲主要是指热化学气相沉积。实验装置一般由耐热石英管和加热装置组成,基体既可以通过加热炉加热(热壁CVD),也可以通过高频感应加热(冷壁CVD)。反应气体在高温基体表面发生分解,同时发生化学反应沉积成膜,反应气体有BCl3或B2H4与NH3的混合气体。

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