半导体参杂用的三氧化二硼有什么要求

半导体参杂用的三氧化二硼有什么要求

首先，要保证掺杂剂的纯度，三氧化二硼可以用涂布法。可以用SiO2的乳胶--即烷氧基硅烷水解聚合物，作为有一定黏度的涂布的材料。然后，加入溶剂(乙醇，酯类)与三氧化二硼相调和，涂布于半导体上。

一般而言，此类半导体是Si 材料。对于化合物半导体，问题就没有那样简单，如III-V、II-VI 、IV-VI族化合物半导体等，就需要另外方法去处理。如离子注入等等。

仅以硅材料而言，方法还有：如，三氧化二硼、BN的高温氧化。也有用硼酸三甲酯、乙硼烷、三溴化硼等等的氧化，沉淀和扩散。但是掺杂剂的纯度一定要高。

用做硅酸盐分解时的助融剂。半导体材料的掺杂剂，耐热玻璃器皿和油漆耐火添加剂，在冶金工业上用于合金钢的生产，用做有机合成的催化剂，高温用润滑剂的添加剂，也可用于环保方面。

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